真空度传感器的工作原理是什么
作者：写客百科
更新时间：2022-08-03 12:38:22
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真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜（上电极）和上密封玻璃组成，下电极溅射在玻璃衬底上，绝缘层生长在电极上；硅膜是由硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。那么，真空度传感器的工作原理是什么呢？
1真空传感器的工作原理是，介质的压力直接作用于传感器的薄膜，使薄膜产生与介质压力成正比的微位移，改变传感器的电阻，用电子线检测，并转换输出与压力相对应的标准信号。
2真空传感器是工业实践中常用的压力传感器。广泛应用于石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等行业。
本文介绍了真空度传感器的工作原理。
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